Ce cours constitue une introduction aux différentes techniques de microfabrication. Après avoir suivi ce cours, l'étudiant devra être en mesure de :

• Comprendre les fondements des principes de microfabrication de microsystèmes électroniques, optoélectroniques et micro-capteurs.

• Connaître les principes, les avantages et les désavantages des techniques de base de lithographie, de dépôt de couches minces et de gravure.

• Analyser et concevoir la fabrication des micro-dispositifs pour des applications variées dont le biomédical, l’automobile et l’environnement

Les principaux moyens pédagogiques envisagés sont :

Cours magistraux (un séance de cours par semaine)

Le cours sera composé de séances théoriques de trois heures trente (3 h 30) au cours desquelles les professeurs exposent les concepts importants du cours appuyés par des exemples pratiques. Aussi, les professeurs aident les étudiants à poser correctement le problème et résume la méthodologie à suivre pour résoudre des problèmes concrets reliés aux procédés de fabrications. Durant ces périodes, les étudiants sont fortement encouragés à poser des questions.

Séances de laboratoire

Les étudiants devront réaliser quatre laboratoires où ils pourront mettre en pratique les divers concepts de microfabrication. Les séances de laboratoire se dérouleront dans les salles blanches de l’ETS.

Évaluation

L’évaluation globale se complète finalement par les examens de contrôle, le devoir, et les présentations.