Ce cours constitue une introduction aux différentes techniques de microfabrication. Après avoir suivi ce cours, l'étudiant(e) devra être en mesure de :

• Comprendre les fondements des principes de microfabrication de microsystèmes électroniques, optoélectroniques et micro-capteurs;
• Connaître les principes, ainsi que les avantages et les désavantages des techniques de base, telle que la lithographie, le dépôt de couches minces et la gravure;
• Analyser et concevoir la fabrication des micro-dispositifs pour des applications variées, notamment dans les domaines biomédical, automobile et environnemental.

Les principaux moyens pédagogiques envisagés sont :

• Cours magistraux (une séance de cours par semaine) : Le cours sera composé de séances théoriques de trois heures trente (3 h 30) au cours desquelles les professeurs exposeront les concepts importants du cours, appuyés par des exemples pratiques. De plus, les professeurs aideront les étudiant(e)s à poser correctement le problème et à résumer la méthodologie à suivre pour résoudre des problèmes concrets reliés aux procédés de fabrication. Durant ces périodes, les étudiant(e)s sont fortement encouragés à poser des questions.
• Séances de laboratoire : Les étudiant(e)s devront réaliser quatre laboratoires où ils pourront mettre en pratique les divers concepts de microfabrication. Les séances de laboratoire se dérouleront dans les salles blanches de l’ÉTS.
• Évaluation : L’évaluation globale comprendra les examens de contrôle, les devoirs, les présentations et les laboratoires.

Note A : Tous les cours sont d'une durée de 3 heures 30 minutes par semaine.
Note B : Pour céduler une rencontre, SVP nous contacter par courriel.

Les équipements de la salle blanche LaCIME

• Devoir                                    10 %
• Examen intra                         30 %
• Laboratoires (en équipe)       20 %
• Présentation                          10 %
• Examen final                         30 %

Afin de faire valider une absence à une évaluation en vue d’obtenir un examen de compensation, l’étudiante ou l’étudiant doit utiliser le formulaire prévu à cet effet dans son portail MonÉTS pour un examen final qui se déroule durant la période des examens finaux ou pour tout autre élément d’évaluation surveillé de 15% et plus durant la session. Si l’absence concerne un élément d’évaluation de moins de 15% durant la session, l’étudiant ou l’étudiante doit soumettre une demande par écrit à son enseignante ou enseignant.

Toute demande de validation d’absence doit se faire dans les cinq (5) jours ouvrables suivant la tenue de l’évaluation, sauf dans les cas d’une absence pour participation à une activité prévue aux règlements des études où la demande doit être soumise dans les cinq (5) jours ouvrables avant le jour de départ de l’ÉTS pour se rendre à l’activité.

Toute absence non justifiée par un motif majeur (voir articles 7.2.6.1 du RÉPC et 6.5.2 du RÉCS) entraînera l’attribution de la note zéro (0).

S. Franssila, “Introduction to microfabrication,” Wiley, 2e édition, 2010 (eBook ÉTS).

A. Campbell, “Fabrication Engineering at the Micro- and Nanoscale” Oxford University Press, 4th Ed., 2012 (eBook ÉTS). 

M. Madou, “Fundamentals of microfabrication and nanotechnology,” CRC Press, 3e édition, 2011.

J. D. Plummer, M. D. Deal, et P. B. Griffin, “Silicon VLSI Technolgy: Fundamentals, Practice and Modeling,” Prentice Hall, 2000.

R. C. Jaeger, G. W. Neudeck, et R. F. Pierret, “Volume V: Introduction to Microelectronic Fabrication,” Prentice Hall, 2002.

S. D. Senturia, “Microsystem design,” Kluwer Academic Publishers, 2002 (eBook ÉTS).

S. M. Sze et K. K. Ng, “Physics of semiconductor devices,” Wiley, 3e édition, 2007 (eBook ÉTS).

Site Moodle disponible au début de la session