Date

Contenus traités dans le cours

Heures

Introduction aux MEMS (Systèmes micro-électro-mécaniques)

− Introduction du cours

− Introduction et théorie des MEMS

− Capteurs et actionneurs

− Applications générales des MEMS

2 heures

Fabrication des MEMS

− Matériaux

− Procédés et techniques de fabrications

− Photolithographie

− Déposition de couches minces

− Gravure

7 heures

Projet 1 (Description, spécifications, gravure en volume)

2 heures

Micro usinage en volume (‘Bulk micromachining’)

− Gravures isotrope et anisotrope

− Gravures humide et sèche

− Conception des composants

5 heures

Projet 2 (Description, spécifications, micro usinage en surface)

2 heures

Micro usinage en surface (‘Surface micromachining’)

− Procédé MUMPS

− Conception des composants

− Élimination de la couche sacrificielle

− Empaquetage

5 heures

Théorie des structures en MEMS

− Lois d’échelle

− Effet piézorésistif

− Effet piézoélectrique

− Effet capacitif (Études statique et dynamique)

− Effet thermique

− Applications

10 heures

Composants RF MEMS et les applications

− Interrupteurs

− Bobines d’inductance

− Condensateurs

− Lignes de transmissions

− Les systèmes RF

6 heures

Total

39 heures

Date

Description

Heures

−Projet 1 : Fabrication de différents cantilevers

−Projet 2 : Fabrication des bobines d’inductance

N/A

N/A